X線光電子光装置 X線光電子分光法（XPS）は試料にX線を照射して放出される光電子スペクトルの測定から試料表面の元素分析や元素の化学結合の状態を知ることができます。試料からの脱出方向ごとの光電子スペクトルから試料表面数原子層の深さ方向分析に適しています。 Scienta X線光電子分光装置は試料表面感度を高くする光学系、高効率・高分解能X線分光器、高分解能アナライザーと組み合わせ、高い精度での深さ方向分析（角度分解測定）を可能にしています。また線源としてUVソース、レーザーを用いることによりバンド構造の測定も可能です。 特徴 1、試料からの光電子の狭い取り出し角度 2、光電子取り出し面とX線照射面を同一面内に配置し、高い表面分析感度を実現 3、Φ75mmの分光結晶を7枚そなえ、高効率・高分解能を実現 4、1064チャンネル×600チャンネルの２次元検出器を備え、高効率を実現 5、リアルタイムイメージにより、的確なチャージニュートライズを実現 6、Ｘ線源、UVソース、製膜装置等前処理室との柔軟なシステムアップ

2次元検出器リアルタイムイメージ

光電子スペクトル